多功能龙8国际pt娱乐官网校准装置的主要性能指标

来源:龙8国际pt娱乐官网技术网(www.chvacuum.com)上海卫星装备研究所 作者:彭光东
1、极限龙8国际pt娱乐官网度   高龙8国际pt娱乐官网校准室极限龙8国际pt娱乐官网度9.3×10-8 Pa,下游室极限龙8国际pt娱乐官网度1.1×10-8 Pa,低龙8国际pt娱乐官网校准稳压室极限龙8国际pt娱乐官网度4.2×10-7 Pa。 2、校准龙8国际pt娱乐官网室动态龙8国际pt娱乐官网度稳定性能   根据相关国家标准对本装置校准范围内的校准室在进行动态比对校准时的龙8国际pt娱乐官网度稳定性能进行检测,从133kPa~9.5×10-5 Pa 范围内选择20 个压力点,每个检测点停留5 分钟,测试结果表明在133kPa~9.5×10-2 Pa 范围内,稳定度可控制在2%以内, 在9×10-2 Pa~9.5×10-5 Pa 范围内,稳定度可控制在1%以内。 3、系统不确定度分析   综合考虑GP370 离子规的不确定度指标和校准装置的固有特性,系统装置标准不确定度为4.2%,数据处理引入的不确定度为0.5%,整个装置的合成不确定度为4.3%, 扩展不确定度为8.6%。   多功能龙8国际pt娱乐官网校准装置的主要性能指标为龙8国际pt娱乐官网技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。   http://www.chvacuum.com/systemdesign/067124.html   与 龙8国际pt娱乐官网系统 多功能龙8国际pt娱乐官网校准装置 相关的文章请阅读:   龙8国际pt娱乐官网系统http://www.chvacuum.com/systemdesign/