常用龙8国际pt娱乐官网泵的工作原理图(1)

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            龙8国际pt娱乐官网泵要求从密封容器中高速高效地排除气体,以达到产生,改善和维持龙8国际pt娱乐官网的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的龙8国际pt娱乐官网度不同,常常需要2种以上的龙8国际pt娱乐官网泵相组合。    代表的龙8国际pt娱乐官网泵     1:旋转式机械泵     2:分子泵(TMP)     3:离子泵     4:Ti升华泵     5:低温泵     曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。 旋转式机械泵     以油封式龙8国际pt娱乐官网泵为例加以介绍。     构造:偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。      原理:转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。    特征:     排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。     为了避免油或其它液体进入龙8国际pt娱乐官网腔内,不用油或其它液体的干式龙8国际pt娱乐官网泵正在成为主要的旋转式机械泵。 旋转式机械泵  分子泵(TMP)     构造:电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。     原理:每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。     特征:     不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的龙8国际pt娱乐官网度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。
分子泵
离子泵        构造:强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。     原理:通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。 一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。     特征:     能达到超高龙8国际pt娱乐官网(10-10Pa)     需要和其它初段排气泵组合。     有一定寿命。 离子泵 Ti升华泵      构造:加热电阻丝、Ti材料(线或球)。     原理:通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在龙8国际pt娱乐官网腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。 在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。     特征:     排气速度大。     没有运动部分,没有振动。     需要和其它初段排气泵组合。     有一定寿命。 低温泵      构造:冷冻机、液态He。     原理:利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。     特征:     能达到超高龙8国际pt娱乐官网(10-11Pa)     排气速度快。     安装方向不受限制。   常用龙8国际pt娱乐官网泵的工作原理图(1)为龙8国际pt娱乐官网技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。   http://www.chvacuum.com/pumps/jixie/11361.html   与 机械龙8国际pt娱乐官网泵 旋转式机械泵 分子泵 TMP 离子泵 Ti升华泵 低温泵相关的文章请阅读:   机械龙8国际pt娱乐官网泵http://www.chvacuum.com/pumps/jixie/